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金属加工
Metal Processing
大型腔体制造
国内精密机械加工制造商
      杭州大和热磁电子有限公司真空技术事业部始于1996年,现有员工1439人,是国内最大的半导体级铝腔体和真空不锈钢焊接腔体制造商之一。公司拥有百余台精密数控机床及多条UHV洗净生产线,规范的品质管理以及一批高素质的专业人员,专业从事磁性流体密封传动装置、精密真空零部件、铝制真空腔体、不锈钢焊接真空腔体、真空阀、精密钣金件等的开发和制造。
      产品广泛应用于半导体制造、精密仪器、太阳能装备制造、科学工程装备、医疗机械、真空镀膜等高新技术领域装备制造业。根据客户需求,按照图纸加工制造、为客户提供设计、制造、组装等全套精密加工解决方案,以高科技含量和高品质在国际、国内市场上赢得一致美誉。
联系电话:0571-86699985
邮箱:vfsales@ferrotec.com.cn
地址:杭州市滨江区滨康路777、668号
不锈钢真空腔体
· Ferrotec真空事业部不锈钢腔体月产可突破350台以上;
· 现有最大体积可达5185mm长*2100mm宽*2330mm高;
· 拥有美国ASME及GB锅炉和压力容器规范D1和D2资格认证。

不锈钢腔体具有优良的抗腐蚀性、放气率低、无磁性、焊接性好、导电率和导热率低、真空度处于0.1-10-5Pa之间,能够在-270—900℃工作等优点。加工过程中必须要求:焊接缝在腔内、腔内400目抛光、腔体进行电解抛光。
不锈钢腔体主要由SUS304或SUS316材料氩弧焊接而成,广泛应用于PVD,PECVD,CVD,MOCVD,OLED,刻蚀设备及低温制冷行业。
不锈钢真空腔体1
不锈钢真空腔体1
不锈钢真空腔体2
不锈钢真空腔体2
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联系电话: 0571-86699985
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铝制真空腔体(定制)
· 铝制腔体月产可突破500台以上;
· 多条可用于半导体腔体清洗的UHV清洗线(Max:7060*4500*1200mm);
· 全球知名半导体装备公司Etch机台传输腔体的供应商;
· 获得国内外关键半导体设备厂商生产体系和质量体系认证。

主要用于半导体行业的各种反应、传输腔等。
Ferrotec真空事业部不锈钢腔体月产可突破350台以上;
现有最大体积可达5185mm长*2100mm宽*2330mm高;
拥有美国ASME及GB锅炉和压力容器规范D1和D2资格认证。
铝制腔体月产可突破500台以上;
多条可用于半导体腔体清洗的UHV清洗线(Max:7060*4500*1200mm);
全球知名半导体装备公司Etch机台传输腔体的供应商;
获得国内外关键半导体设备厂商生产体系和质量体系认证。
Matrix diagram of applications in various fields
各领域的应用之矩阵图
真空技术相关
金属加工

铝制真空腔体

不锈钢焊接真空腔体

精密部品

精密钣金

铝制真空腔体

不锈钢焊接真空腔体

精密部品

精密钣金

不锈钢焊接真空腔体:

精密部品:

不锈钢焊接真空腔体;

精密部品;

精密机械部品;

该产品的生产基地
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